波长为185μｍ的紫外线能使空气中的氧分子获得能量而结合生成臭氧，利用这一原理，采用紫外线灯管照射消毒室内的空气即产生了可用于消毒的臭氧。此方法结构简单，臭氧产量适中，虽成本较高，但还是被广泛采用。
紫外线消毒是通过紫外线发生管，产生波长为254μｍ的紫外线，此波长的紫外线最易被微生物的细胞核所吸收，从而导致微生物细胞核破坏而死亡。
因在背光的地方无法照射到紫外线，所以紫外线只能作为食具的一种辅助手段，国家标准GB17988－2000中亦明确提出“仅靠紫外线消毒的消毒柜是不适用于食具消毒”。所以消毒柜上采用的多为紫外线臭氧管，就是说产生紫外线的同时也产生臭氧进行消毒。
紫外线发射功率８Ｗ，辐照度≥40µw／cm2,0.5m紫外线消毒灯管有选用臭氧紫外线灯的，也有与臭氧管分别设量的。
臭氧紫外线灯管：
目前市面上运用的最广的在低温消毒柜中的是臭氧紫外线灯管，这种灯管在工作的时候能够同时发射出两种波长的紫外线——254μｍ和185μｍ，能够同时起到分解臭氧和紫外线杀毒两种功能，成本也比较便宜。
根据国家标准（GB17988－2004） 规定：
消毒星级“标志”的使用，用消毒级数表示消毒结果：一星级消毒柜用“*”表示；二星级用“**”表示；
一星级、二星级消毒柜消毒共同效果：
（1） 对自然菌的杀灭率应大于99.9%；
（2） 对大肠杆菌杀灭率应不小于99.9%；
（3） 对金黄色葡萄球菌杀灭率应不小于99.9%。
2006年7月，国标规定：二星级消毒柜除达到以上指标外，还应做到：
A、能杀灭脊髓灰质炎病毒（小儿麻痹症病毒）。
B、带臭氧消毒的消毒柜必须配备“臭氧”泄漏保护装置（安全门锁功能）。
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